Messtechnik für vollautomatisierte Messungen von Oberflächen

Bergisch Gladbach (ots) - Qualität und Zuverlässigkeit von
Produkten der MEMS-, Halbleiter- und Solarindustrie hängen von
Genauigkeiten ab, die im Mikro- und Nanometerbereich liegen. Das
erhöht die Anforderungen an Verfahren zur zerstörungsfreien Messung
von Oberflächeneigenschaften in der Produktion. Zugleich benötigen
besonders Wachstumsunternehmen wirtschaftliche und flexible
Oberflächenmessgeräte für den Einsatz im Bereich F&E.

Lösungen für beide Bereiche hat Fries Research & Technology (FRT).
Das Unternehmen bietet Messgeräte für das Labor, Anlagen zur
begleitenden Produktionskontrolle bis hin zu vollautomatischen
Systemen für die 100%ige Kontrolle an. Ausgewählte Produkte
(MicroProf MFE/TTV und MicroSpy Topo) stellt FRT auf der diesjährigen
Semicon Europa in Stuttgart vor.

Multisensortechnik von FRT

Die Multisensortechnik von FRT ist das Nonplusultra bei der
Analyse von Oberflächen. Durch die Kombination von verschiedenen
Messverfahren in einem universellen Gerät entsteht in der Summe eine
kundenspezifische Lösung, die sich durch Leistungsfähigkeit
(Auflösungsbandbreite bis zu 9 Größenordnungen), Erweiterbarkeit und
Zukunftssicherheit auszeichnet.

FRT bietet mit der Serie MFE (Metrology for Front End)
SEMI-konforme Reinraum-Messtechnik in einem Mini-Environment der
Klasse 1. Es können Wafer aus nahezu jedem Material auf Bow, Warp,
TTV, Stufenhöhen, Rauheit oder Schichtdicke überprüft werden -
vollautomatisch, zerstörungsfrei und hochauflösend. Das integrierte
Waferhandlingsystem verfügt über ein eigens entwickeltes
Fine-Alignment, welches Wafer mit bis zu 300 mm Durchmesser bei einer
reproduzierbaren Wiederholgenauigkeit von +/- 2 µm auf dem Messtisch
platziert. Damit sind sehr anspruchsvolle Messaufgaben in einem
vollautomatischen Umfeld realisierbar. Die Steuerung und
Weiterverarbeitung der Messergebnisse kann über eine SECS/GEM
Schnittstelle erfolgen.

Leistungsstark und wirtschaftlich

Der MicroSpy Topo ist die günstige Einstiegsmöglichkeit in die
optische Messtechnik von FRT. Das budgetfreundliche Konfokalmikroskop
ermöglicht schnelle, zerstörungsfreie und hochauflösende
Oberflächenanalysen im Mikro- und Nanometerbereich. Rauheit, Kontur
und Topographie werden in nur fünf Arbeitsschritten hochpräzise
bestimmt - zwei- und dreidimensional.

Alle Informationen finden Sie unter http://www.frt-gmbh.com

Originaltext: FRT Fries Research & Technology GmbH
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Pressekontakt:
Dr. Oliver Schillings
Alpha & Omega PR
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